產品參數:
電源系統 |
功率 |
F13.56MHz 0-600W (射頻電源) |
真空系統 |
真空管路 |
全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管 |
材質 |
鋁合金 |
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密封性 |
一體成型 |
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腔體體積 |
6L |
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適用產品尺寸 |
180-280mmX25-90mm(長x寬) |
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適用料盒尺寸 |
180-290mmX25*93X250mm(長X寬X高) |
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通道數量 |
標準4條(可定制) |
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電極板大小 |
340x500mm |
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等離子激發時間 |
等離子激發清洗時間 |
5Sec |
產量 |
UPH |
480(蛇皮時間10S,4條流道時) |
清洗能力 |
水滴角 |
水滴角測試<12° |
流量范圍 |
0-300SCCM |
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工藝氣體 |
標配2路,可定制 氬氣: 3bars 1L/min 氮氣 : 3bars 1L/min |
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其它參數 |
電源 |
AC 380V 5.5KW |
外形尺寸 |
1600mmX1200x1600 |
產品特點:
1、軌道寬度可調,可選擇同時清洗四種不同寬度的產品;
2 、片式清洗,清洗效果更明顯;
3 、單邊上下料結構,無需更換料盒,清洗后的產品自動回到原來的料盒,杜絕混批;
4、 雙清洗托盤,一個清洗的同時另一個備料,提高生產效率;
5 、一鍵更換產品,設備所有參數及設置自動加載,無需人工設定;
6、手動清洗與自動清洗均一鍵操作,操作使用更簡單;
7、 產品安全多重設計,確保不會造成產品變形損壞;
8 、四條通道每個地方獨立檢測,準確判斷問題所在;
9 、設備安全多重設計,確保人身安全;
10、 模塊化設計,國際品牌配置,確保設備穩定運行。